汇洲财富网（blackv9.com）获悉尽管台积电不能声称自己是第一家使用极紫外(EUV) 光刻技术的晶圆厂(这一头衔属于三星)，但他们确实可以声称自己是最大的晶 圆厂。 因此，该公司多年来在 EUV 方面积累了丰富的经验，使台积电能够改进使用 EUV 工具的方式，以提高生产率/正常运行时间，并降低使用超精细工具的成本。 作为该公司本周欧洲技术研讨会的一部分，他们更详细地介绍了 EUV 使用历史，以及进一步将 EUV 整合到未来制程节点的进展。
当台积电于2019 年开始在其N7+ 制程(用于华为海思)上使用EUV 光刻制造晶片时，它占据了全球EUV 工具安装基数的42%，即使ASML 在2020 年增加了EUV 光刻机的 出货量，台积电的EUV 份额安装量实际上增加到了50%。 到 2024 年，台积电的 EUV 微影系统数量将比 2019 年增加 10 倍，尽管三星和英特尔都在提高自己的 EUV 产量，但台积电目前仍占全球 EUV 安装基数的 56%。 可以说，台积电很早就决定大力进军 EUV，因此他们今天仍然拥有 EUV 微影机的最大份额。
值得注意的是，台积电的EUV晶圆产量增幅更大;台积电目前生产的 EUV 晶圆数量是 2019 年的 30 倍。 与工具数量仅增加 10 倍相比，台积电产量增加了 30 倍，凸显了台积电如何能够提高 EUV 生产力、减少服务时间和减少工具停机时间全面的。 显然，这一切都是透过公司内部开发的创新技术来实现的。
王君宇律师楼
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